Hva er bruken av spesialaksel med høy presisjon lineær aksel i vitenskapelig forskning?

Spesiell aksel Høypresisjon lineær akseler kjernetransmisjonskomponenten i presisjonsautomatiseringsutstyr og vitenskapelige forskningsinstrumenter. Dens design, produksjon og ytelse overgår langt de til konvensjonelle lineære guider.

Utmerket posisjoneringsnøyaktighet og repeterbarhet: Dette er dens viktigste funksjon. Den har vanligvis mikron (μm) eller til og med sub-mikron posisjoneringsnøyaktighet og repeterbarhet (som ±1μm eller høyere). Dette er avgjørende for oppgaver som krever ekstremt høy presisjon.

Ekstremt lav bevegelsesfeil: Retthetsfeil: Avviket til bevegelsesbanen fra den ideelle rette linjen er ekstremt lite. Flathetsfeil: Avviket til bevegelsesplanet fra det ideelle planet er svært lite.

Pitch/yaw/roll error: Rotasjonsvinkelfeilen til aksen rundt hver akse under bevegelse er strengt kontrollert. Abbe-feil: Designet reduserer påvirkningen av Abbe-feil i stor grad ved å optimalisere strukturen (for eksempel den kolineære/koplanære utformingen av styreskinnen og målepunktet) eller ved å bruke kompensasjonsalgoritmer.

Høy stivhet:Spesiell aksel Høypresisjon lineær akselhar en solid strukturell design, og dens materialer og produksjonsprosesser er utmerkede, noe som gjør den i stand til å motstå små deformasjoner forårsaket av ytre belastninger (spesielt sidekrefter eller momenter), noe som sikrer at den fortsatt kan opprettholde høy presisjon under belastning. Friksjon og jevn bevegelse: Høyytelses føringsmetoder (som forhåndsbelastede kuleføringer, rulleføringer, hydrostatiske føringer og luftflytende føringer) brukes, med lav og stabil friksjon. Dette oppnår ekstremt jevn jevn bevegelse (ingen kryp) og rask start-stopp-respons. Utmerket termisk stabilitet og miljøtilpasningsevne: Bruk materialer med ekstremt lave termiske ekspansjonskoeffisienter (som keramikk, spesiallegeringer), eller kompenser for termisk deformasjon gjennom strukturell design/aktiv temperaturkontroll for å sikre nøyaktighet i temperaturstigning eller svingende miljøer. Noen modeller har gode anti-forurensningsegenskaper (spesielt luftflytende, magnetisk levitasjon) eller vakuumkompatibilitet.

Høyoppløselig tilbakemeldingssystem: Vanligvis integrerte ultrahøyoppløselige lineære gitterskalaer (som nanometeroppløsning) eller laserinterferometre som posisjonstilbakemelding med lukket sløyfe er grunnlaget for å oppnå kontroll på nanometernivå.

Hovedanvendelsesområder: Fremstilling og inspeksjon av halvledere: Litografimaskin (trinn-skanning): Kjernen i waferscenen og maskescenen er den nøyaktige posisjoneringen på nanometernivå. Waferinspeksjonsutstyr: Den nøyaktige bevegelsen av sondestasjonen og den mikroskopiske avbildningsplattformen for defektinspeksjon og måling. Chippakking og testing: Kjernebevegelsesaksen til høypresisjonsplasseringsmaskiner, trådbindingsmaskiner og testsorteringsmaskiner. Presisjonsoptikk og fotonikk: Bearbeiding og inspeksjon av optiske komponenter: Laser-direkteskriving, diamantdreiemaskiner og posisjoneringsakser for interferometerplattformer.

Mikroskop (konfokalt, superoppløsning): Nanoskala skanning og plassering av scenen og objektivlinsen. Laserbehandlingsutstyr: Aksen for nøyaktig posisjonering av strålebanen eller arbeidsstykket i utstyr for mikroprosessering, merking, boring og skjæring. High-end metrologi og inspeksjon: Trekoordinatmålemaskin: Høypresisjonsbevegelse av målearmen i tredimensjonalt rom.

Profilometer/ruhetsmåler/rundhetsmåler: Nøyaktig posisjonering og skannebevegelse av sensorer.

Laser tracker/interferometer kalibreringsplattform: Gir presis referansebevegelsesbane. Livsvitenskap og medisinsk utstyr: Gensekvenser: Nøyaktig stepping og fokusering av prøvescenen og optisk skannehode. Cellemanipulasjons-/mikroinjeksjonsutstyr: Nøyaktig sikting og bevegelse av mikronåler eller laserstråler. Eksklusivt medisinsk bildebehandlingsutstyr: Nøyaktige posisjoneringskomponenter til detektorer i PET/CT/MRI. Avansert produksjon og vitenskapelig forskning:

Ultrapresisjons maskineringssenter: Matebevegelse av verktøymaskinens akse. FIB/SEM: Prøvetrinnsmanipulasjon i fokusert ionestråle/skanneelektronmikroskop. Materialvitenskapelig eksperimentell plattform: Nøyaktig posisjonering, lasting eller måling av bittesmå prøver. Eksperimentell enhet med kvanteteknologi: Ultrapresisjons forskyvningskontroll under ekstreme omgivelser (lav temperatur, vakuum) er nødvendig. Luftfart og forsvar: Testbenk for treghetsnavigasjonsutstyr, optisk siktesystem, presisjonsservokontrollmekanisme, etc.

Spesiell aksel Høypresisjon lineær akseler den grunnleggende maskinvaren for å oppnå banebrytende teknologiske gjennombrudd og oppgraderinger av produksjonsprosesser. Dens egenskaper med "høy presisjon, høy stivhet, høy stabilitet og lav feil" gjør den til en uunnværlig nøkkelkjernekomponent innen felt som brikkeproduksjon, presisjonsmåling, biomedisin, banebrytende vitenskapelig forskning, etc. som har strenge krav til bevegelsesnøyaktighet, og direkte bestemmer ytelsens øvre grense for utstyret.